Repetitive switching from the high to the low resistance states in thin polycrystalline films of NiO and NiO(Li) is investigated. The threshold field for switching Es is 6 × 105 V/cm in NiO films and decreases with increasing Li concentration to 3 × 103 V/cm for NiO (0.4% Li) films. The switching time is 0.1 μs and recovery time is less than 3 ns. The process of dielectric breakdown occurs through the sequence of the four conduction states. The transitions between the first three states are reversible; the fourth state represents an irreversible step in the dielectric breakdown. Each conduction state is described by a specific set of I–U or G–U curves, activation energy, dielectric behavior, and transition modes to the other states. Experimental results indicate a polaronic conduction mechanism in the first conduction state. A model for the switching mechanism in terms of the delocalization of polarons is advanced. Dielectric breakdown is explained by a decomposition process resulting in formation of a metallic filament in the fourth conduction state. Es wird die periodische Umschaltung vom hohen zum niedrigen Widerstandszustand in dunnen, polykristallinen NiO- und NiO(Li)-Schichten untersucht. In nichtdotierten Schichten betragt das Schaltungsgrenzfeld Es 6 × 105 V/cm und verringert sich mit steigender Li-Konzentration bis zu 3 × 103 V/cm fur NiO (0,4% Li)-Schichten. Die Schaltdauer ist 0,1 μs, und die Erholungsdauer weniger als 3 ns. Der Prozes des dielektrischen Zusammenbruchs findet in einer Reihenfolge von vier Zustanden der Leitfahigkeit statt. Der Ubergang zwischen den ersten drei Zustanden ist umkehrbar, der vierte Zustand stellt einen nicht umkehrbaren Schritt im dielektrischen Zusammenbruch dar. Jeder Leitfahigkeitszustand wird durch einen spezifischen Satz von I–U- oder G–U-Kurven, Aktivierungsenergien, dielektrischen Verhaltensweisen und Ubergangsmoden zu anderen Zustanden beschrieben. Die experimentellen Ergebnisse deuten auf einen Polaronen-Leitungsmechanismus im ersten Leitungszustand hin. Es wird ein Modell fur den Schaltungsmechanismus als Funktion der Delokalisation der Polaronen vorgeschlagen. Der dielektrische Zusammenbruch wird durch einen Zerfallsprozes erklart, der mit der Bildung einer metallischen Faser im vierten Leitungszustand in Zusammenhang gebracht wird.