Lithium niobate LiNbO3 thin films were deposited onto silicon (111) Si and sapphire (001) AI2O3 single crystal substrates by the pyrosol and/or r.f. sputtering processes. A matrix of experiments was designed to determine the effects of several experimental parameters on the resulting film quality (stoichiometry, crystallization state) and properties. Under optimized conditions, requiring the combination of the two above-mentioned deposition techniques, <001 > oriented polycrystalline LiNbO3 films were grown which exhibit homogeneous and columnar grain structures with the <c > -polar axis normal to the substrate surface. Films minces de LiNbO3 et LiTaO3 déposés par procédés chimique et/ou physique. Des couches minces de niobate de lithium LiNbO3 ont pu être élaborées par les procédés pyrosol et/ou pulvérisation cathodique sur des substrats monocristallins de silicium (111) Si et de saphir (001) Al2O3. Une attention particuliére a été accordée à lánalyse de línfluence des divers paramétres expérimentaux sur la qualité (st œchiométrie, état de cristallisation) et les proprirétés des films ainsi synthétisés. L'utilisation conjointe des deux techniques a notamment permis la croissance de films minces de LiNbO3 homogénes, cristallisés et présentant une orientation préférentielle marqueé suivant l'axe <c > de la structure.