니켈촉매 막을 증착시킨 산화규소 기판위에 아세틸렌기체와 수소기체를 원료로, 육불화황기체를 첨가기체로 열화학기상증착 시스템하에서 탄소코일을 증착하였다. 반응온도를 <TEX>$650^{\circ}C$</TEX>에서 <TEX>$800^{\circ}C$</TEX>까지 증가시키면서 증착된 탄소 코일의 기하구조를 조사하였다. <TEX>$650^{\circ}C$</TEX>에서는 주로 탄소나노필라멘트 형성의 전단계가 나타났으며, 반응온도가 증가하자(<TEX>$700^{\circ}C$</TEX>) 나노 크기의 코일들이 나타났다. <TEX>$775^{\circ}C$</TEX>로 반응온도를 더욱 증가시키자, 파도물결과 같은 나노 코일들이 성장되었으며, 간혹 마이크로 크기의 코일들도 나타났다. 육불화황에 첨가된 불소의 에칭효과로 니켈 촉매의 크기를 줄일 수 있을 것으로 여겨지며, 따라서 육불화항 첨가기체의 사용으로 기존에 보고된 것보다 작은 크기의 직경을 갖는 마이크로 탄소 코일을 얻을 수 있었다. Carbon coils could be synthesized on nickel catalyst layer-deposited silicon oxide substrate using <TEX>$C_2H_2$</TEX> and <TEX>$H_2$</TEX> as source gases and SF6 as an additive gas under thermal chemical vapor deposition system. The geometries of as-grown carbon materials were investigated with increasing the reaction temperature as the increment of <TEX>$25^{\circ}C$</TEX> from <TEX>$650^{\circ}C$</TEX> up to <TEX>$800^{\circ}C$</TEX>. At <TEX>$650^{\circ}C$</TEX>, the embryos for carbon coils were formed. With increasing the reaction temperature to <TEX>$700^{\circ}C$</TEX>, the coil-type geometries were developed. Further increasing the reaction temperature to <TEX>$775^{\circ}C$</TEX>, the development of wave-like nano-sized coils, instead of nano-sized coils, and occasional appearance of micro-sized carbon coils could be observed. Fluorine in <TEX>$SF_6$</TEX> additive may shrink the micro-sized coil diameter via the reduction of Ni catalyst size by fluorine's etching role. Finally, the preparation of the micro-sized carbon coils having the smaller coil diameters, compared with the previously reported ones, could be possible using <TEX>$SF_6$</TEX> additive.