Abstract
Possibilities of local anodic oxidation (LAO) for superdense information recording using a negative potential on probe of atomic force lithographer (AFL) are investigated in this paper. It is shown that the intensity of LAO surface of metals and semiconductors significantly depends on parameters such as time of oxidation, humidity, type of oxidizable material and anode-cathode potential difference. The possibility of obtaining structures for storage nanodevices is experimentally proved.
Highlights
У роботі досліджені можливості методу локального анодного окислення (ЛАО) для отримання надщільного запису інформації з використанням негативного потенціалу на зонді атомно-силового літографа (АСЛ)
Possibilities of local anodic oxidation (LAO) for superdense information recording using a negative potential on probe of atomic force lithographer (AFL) are investigated in this paper
It is shown that the intensity of LAO surface of metals and semiconductors significantly depends on parameters such as time of oxidation, humidity, type of oxidizable material and anode-cathode potential difference
Summary
У роботі досліджені можливості методу локального анодного окислення (ЛАО) для отримання надщільного запису інформації з використанням негативного потенціалу на зонді атомно-силового літографа (АСЛ). Possibilities of local anodic oxidation (LAO) for superdense information recording using a negative potential on probe of atomic force lithographer (AFL) are investigated in this paper. Важливою особливістю ЛАО є кінетика процесу локального зондового окислення плівок різних металів і напівпровідників.
Sign-in/Register to view highlights & summary Sign-in/Register to access full text options 
Talk to us
Join us for a 30 min session where you can share your feedback and ask us any queries you have
Schedule a callDisclaimer: All third-party content on this website/platform is and will remain the property of their respective owners and is provided on "as is" basis without any warranties, express or implied. Use of third-party content does not indicate any affiliation, sponsorship with or endorsement by them. Any references to third-party content is to identify the corresponding services and shall be considered fair use under The CopyrightLaw.
