Abstract
Zusammenfassung Der Artikel präsentiert eine modifizierte Version des Kraft-Weg-Messgeräts, das zur Kalibrierung der Steifigkeiten von MEMS und Cantilevern sowie der von ihnen erzeugten Kräfte im Bereich von 10 nN bis 2mN verwendet wird. Weiterhin werden verbesserte Ergebnisse für die Kalibrierung von Kraftkonstanten und der Steifigkeit weicher Cantilever (Kraft bis 300 nN) mit einer erweiterten relativen Unsicherheit von 0,46 % gezeigt.
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