나노구조 초전도 박막의 모폴로지를 열처리를 통해 변화시키며 이에 따른 박막의 초전도 특성을 면저항과 터널링 측정을 통해 연구하였다. 면저항 측정결과 초전도 박막의 임계온도가 열처리 온도에 따라 증가함을 알 수 있었다. 터널링 측정방법을 통해 포논 스펙트럼을 분석한 결과 열처리 후 횡 포논 모드에 변화가 나타남을 알 수 있었다. 이러한 결과들을 통해 나노구조 박막의 모폴로지가 박막의 초전도 특성에 미치는 영향을 이해할 수 있다. Transport and tunneling measurements of nanostructured superconducting thin films are presented. To understand the effects of film morphology on their superconducting properties, thermal annealing experiments have been performed. The transition temperature increases with thermal annealing temperature towards the bulk value. Also, thermal annealing results in a shift of transverse phonon mode. These can be understood with changes in film morphology and suggest its importance on the superconducting state properties.