Rare earth elements are becoming increasingly in demand, due to their prevalence in both renewable energy devices and high end electronics. The characterisation of the composition and morphology of the various phases that have valuable rare earth elements in the ores are needed in conjunction with the study of their physicochemical properties to optimise industrial process to extract the minerals containing the rare earth elements. Rare earth bearing minerals contain many elements with overlapping X-ray peaks (L- and M-lines) with an energy dispersive spectrometry detector, requiring a high degree of X-ray energy resolution. A program was developed to obtain the intensity of each peak by deconvolution of the X-ray spectrum. Low accelerating voltage of less than 5 kV and small beam diameter of less than 10 nm of a cold field emission scanning electron microscope allow x-ray microanalysis on the nanometre scale. A 100 nm wide phase was observed at 4 kV on a backscattered electron micrograph. Furthermore, a small beam diameter of less than 10 nm was used for identification of small phases of a few micrometres.Les éléments de terre rare sont de plus en plus en demande, grâce à leur prévalence tant dans les dispositifs d’énergie renouvelable que dans l’électronique de haute gamme. On a besoin de caractériser la composition et la morphologie des différentes phases qui contiennent des terres rares de valeur dans les minerais, en combinaison avec l’étude de leurs propriétés physico-chimiques, afin d’optimiser le procédé industriel d’extraction des minéraux contenant les terres rares. Les minéraux porteurs de terre rare contiennent plusieurs éléments ayant des pics de rayons x qui se chevauchent (lignes L et M) avec un détecteur de spectroscopie à dispersion d’énergie, nécessitant une haute résolution énergétique. On a développé un programme visant à obtenir l’intensité de chaque pic par déconvolution du spectre de rayons x. Un faible voltage d’accélération de moins que 5 kV et un faisceau à faible diamètre de moins que 10 nm d’un microscope électronique à balayage par cathode froide permettent la microanalyse des rayons x à l’échelle du nanomètre. On a observé une phase de 100 nm de largeur à 4 kV sur une micrographe d’électrons rétrodiffusés. De plus, on a utilisé un faisceau de faible diamètre de moins que 10 nm pour l’identification de petites phases de quelques μm.