Изучено анодное поведение Та-электрода в 0.1 M водном растворе H3PO4 после стадии электрохимической полировки поверхности металла. Установлены оптимальные условия проведения процесса электрохимической полировки в электролите HF:C3H7OH:H2SO4. На основе анализа циклических вольтамперных кривых сделано заключение, что эффективность процесса формирования анодного оксида тантала близка к 100 %. Данные импедансной спектроскопии подтверждают образование оксидной пленки с высокими диэлектрическими характеристиками. Проведен расчет диэлектрической проницаемости сформированного оксида, дана оценка фактора шероховатости поверхности тантала после ее электрохимической полировки.
Read full abstract