This paper shows how structure and formation of metal-polymer interfaces depend strongly on the preparation process and the interfacial chemistry. Emphasis is placed on results obtained from transmission electron microscopy (TEM), X-ray photo electron spectroscopy (XPS), radiotracer measurements and computer simulations on the early stages of interface formation during noble-metal deposition onto fully cured polymers. Noble metal atoms deposited onto polymers diffuse on and inside the polymer and tend to agglomerate to clusters. XPS results show that no significant diffusion occurs from larger clusters and is therefore also not expected from a continuous metal film. Thus the extent of diffusion into the polymer appears to be determined only by the initial stage of the deposition process and increases strongly at low deposition rates and elevated temperatures, where a large fraction of isolated metal atoms is able to diffuse into the polymer before being trapped by other atoms at or near the surface. Our results point to a strong interplay between chemical interaction, diffusion and agglomeration. Chemie, Diffusion und Clusterbildung an Metall-Polymer-Grenzflächen In diesem Artikel wird aufgezeigt, wie die Bildung und die Struktur von Metall/Polymer-Grenzflächen durch den Herstellungsprozeß und die Grenzflächenchemie gesteuert wird. Der Schwerpunkt liegt hierbei auf Resultaten, die mit Hilfe von Transmissionselektronenmikroskopie, Röntgenphotoelektronenspektroskopie, Radiotracer-Messungen und Computersimulationen für die Anfangsstadien der Grenzflächenbildung von Edelmetallen auf fertig präparierten Polymeren erhalten wurden. Edelmetalle, die auf Polymeren abgeschieden werden, diffundieren auf und in das Polymer und zeigen eine starke Neigung zu Clustern zu agglomerieren. XPS Ergebnisse zeigen, daß von größeren Clustern kein Metall abdiffundiert und damit auch keine Diffusion aus einem geschlossenen Metallfilm zu erwarten ist. Das Ausmaß der Eindiffusion in das Polymer ist daher nur durch die Anfangsstadien des Abscheideprozesses bestimmt. Sie zeigt einen starken Anstieg bei niedrigen Aufdampfraten und höheren Temperaturen, dort, wo ein großer Anteil an einzelnen Atomen in das Polymer eindiffundiert, bevor sie von anderen Atomen an oder nahe der Grenzfläche eingefangen werden können. Unsere Resultate machen deutlich, daß ein enger Zusammenhang zwischen chemischer Wechselwirkung, Diffusions- und Agglomerationsverhalten besteht.