X-ray microanalysis in the environmental scanning electron microscope (ESEM): Small size particles analysis limits

Abstract

Dans cette etude nous presenterons les effets de certains parametres tels que la duree d'acquisition et la pression dans la chambre du microscope electronique a balayage environnemental sur les resultats de la microanalyse X. La pression dans la chambre a ete augmentee de 1 Torr (133 Pa) a 15 Torr (1995 Pa). Des mesures avec des durees d'acquisition entre 180 secondes et 1800 secondes ont ete effectuees. Des particules de fer et de silicium de petites tailles sont analysees. Les resultats ont montre qu'a 1 Torr (133 Pa), le faisceau d'electrons primaire peut fluctuer si la duree d'acquisition est longue, ce qui induit quelques erreurs dans les resultats obtenus. Une augmentation de la pression dans la chambre induit une amplification des phenomenes de diffusion du faisceau d'electrons jusqu'a 160 microns. Ce fait, ajoute un certain bruit venant de l'environnement autour de la particule analysee. Nous avons ensuite montre que le deplacement du faisceau d'electrons pendant la mesure a cause une diminution de la concentration en fer qui atteint 15 % environ pour une duree d'acquisition de 1800 secondes.