LiNbO3의 스트레인광학형 광도파로를 이용한 세기 광 변조기와 광 파워 분배기

Abstract

<TEX>$LiNbO_3$</TEX>의 스트레인광학효과와 ~l.4<TEX>$\mu\textrm{m}$</TEX> 두께 이상으로 증착된 Mo(molybdenum)/Pt(platinum) 금속 박막으로부터 발생되는 압축스트레인을 이용하여 채널 광도파로 제작 공정을 개발하였다. 제작된 광도파로는 단일모드로 관찰되었으며, 삽입 손실이 TE, TM 입사 편광모드 각각에 대해서 6.2, 7.7 dB/cm로 측정되었다. 전극 길이와 간격이 11 mm, 21 <TEX>$\mu\textrm{m}$</TEX>인 광변조기를 스트레인광학형 광도파로 구조를 이용하여 제작하였으며, <TEX>$V_{\pi}$</TEX>= 16.1 V와 100% 변조 깊이가 1.55<TEX>$\mu\textrm{m}$</TEX> 파장 영역에서 측정되었다. 또한 1<TEX>$\times$</TEX>2광 파워 분리기를 제작한 결과 0.63<TEX>$\mu\textrm{m}$</TEX> 파장 영역에서 on/off 특성이 <TEX>$\pm$</TEX>25V에서 관찰되었다. Fabrication process of strain-induced channel waveguides in <TEX>$LiNbO_3$</TEX> was developed using strain-optic effect and compressional strain due to ~1.4 <TEX>$\mu\textrm{m}$</TEX> surface Mo/Pt metal film. Characterization of the channel waveguides revealed a single transverse and depth mode in both TE and TM polarizations. Measurements showed total insertion loss of 6.2 and 7.7 ㏈/cm for TM and TE polarizations. respectively. Electro-optic intensity modulators with 11 mm long electrode length and 21 <TEX>$\mu\textrm{m}$</TEX> electrode gap at <TEX>$\lambda$</TEX> = 1.15 <TEX>${\mu}{\textrm}{m}$</TEX>have been produced in <TEX>$LiNbO_3$</TEX> substrates using strain-induced channel waveguides. Modulation depth of 100% at <TEX>$\pi$</TEX>-radian voltage of 16.1V has been demonstrated. Also, 1<TEX>$\times$</TEX>2 on/off power splitters at <TEX>$\lambda$</TEX> = 0.63 <TEX>$\mu\textrm{m}$</TEX> have been produced using strain-induced channel waveguides. On/off voltage of <TEX>$\pm$</TEX> 25V has been demonstrated.