Influence of Ce(III)/Ce(IV) - supplements on the Characteristics of Humidity Sensors with TiO<sub>2</sub> Films Prepared via a Sol-gel Method

Abstract

espanolLos sensores de humedad han sido desarrollados mediante el metodo sol-gel para depositar peliculas superficiales basadas en TiO2 con adiciones de compuestos de cerio sobre sustratos de corindon y electrodos de aleacion de plata y paladio. Se han realizado observaciones mediante el Microscopio Electronico de Barrido (MEB) para determinar la morfologia superficial de las capas respectivas. Las caracterizaciones de la estructura y composicion han sido realizadas mediante Difraccion de Rayos X (DRX) y espectroscopia de dispersion energetica de rayos X (EDERX), con el fin de investigar la relacion entre la estructura de las capas y los parametros de los sensores respectivos. La influencia de los compuestos de cerio sobre las caracteristicas electricas de los sensores de humedad obtenidos se ha evaluado mediante el analisis de impedancia electrica. EnglishHumidity sensors have been prepared via a sol-gel method to deposit TiO2 films with additions of Ce-compounds on alumina substrates, with interdigitated silver palladium electrodes. Observations by scanning electron microscopy (SEM) were performed in order to determine the surface morphology of the respective layers. Structural and compositional characterization was done by X-ray diffraction analysis (XRD), and energy dispersive X-ray spectroscopy (EDX) for investigation of the relation between the film structures and the parameters of the respective sensors. The influence of Ce-compounds on the electrical characteristics of the samples as humidity sensing elements has been evaluated by an impedance analyzer.