High-resolution inspections of ferroelectric thin PZT films

Abstract

Lead zirconate titanate (PZT) materials have been widely investigated for applications in dynamic random access memories and non-volatile random access memories. The developments of such applications are conditionned by the fabrication of thin films. The main advantages of the sol-gel method include low cost and high quality control of the deposited thin films. Electric force microscopy and near-field optical microscopy are proposed as high-resolution inspection methods at the nanometric scale to extend the classical macroscopic characterizations. Inspections à haute résolution de films minces ferroelectriques de PZT. Les matériaux à base de zirconate titanate de plomb (PZT) ont largement été étudiés pour des applications aux mémoires dynamiques et non volatiles, à accès aléatoire. Les développements de telles applications sont conditionnés par la fabrication de films minces. La méthode sol-gel présente comme principal avantage d'être un procédé faible coût, permettant le dépot de films minces de grande qualité. La microscopie à force électrique et la microscopie optique en champ proche sont envisagées comme des inspections à haute résolution à l'échelle nanométrique, en complément des caractérisations macroscopiques classiques.