Abstract
The backscattering factor R is derived for the number of ionisation produced by an incident electron in a simple integral form on the base of Green and Cosslett formula. An analytical expression for the energy distribution of backscattered electrons is used. The procedure for evaluating R for multielement specimens is described also in cases of tilted targes. Formula for evaluating the backscattering coefficient for thin film at various angles of incidence is proposed. Die R-Rückstreukorrektur für die Ionisierungszahl wird in einer einfachen integralen Form mittels der Formel von Green und Cosslett erhalten. Es wird eine analytische Formel für die Energieverteilung der Rückstreuelektronen benutzt. Auf dieser Grundlage wird das Verfahren für die R-Korrektur für verschiedenartige Proben beschrieben. Eine Formel zur Berechnung des Rückstreu-koeffizienten an dünnen Schichten für verschiedene Auftreffwinkel der Primärelektronen wird vorgeschlagen.
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