Abstract

정전분무증착 기술에 의해 증착된 고체산화물 연료전지(SOFC) 양극재료인 SSC 양극막의 미세구조적 변화에 대해 연구하였다. Samarium chloride hexahydrate<TEX>$(SmCl_3{\cdot}6H_2O)$</TEX>, strontium chloride hexahydrate<TEX>$(Co(No_3)_2{\cdot}6H_2O)$</TEX>, cobalt nitrate hexahydrate<TEX>$(Co(No_3)_2{\cdot}6H_2O)$</TEX>의 출발 물질과 용매로써 메탄올이 전구체 용액을 제조하는데 사용되었다. SOFC의 양극을 위해 적합한 다공성의 SSC 막을 제조하였으며, 그 미세구조가 증착시간, 기판온도, 인가전압 등과 같은 공정변수들에 의존한다는 것을 관찰하였다. 주사전자현미경과 X-ray 회절 패턴이 미세구조와 결정성 분석을 위해 사용되었다. 본 연구를 통해, ESD 기술이 요구하는 상의 합성과 다공성의 미세구조를 갖는 SOFC의 양극막을 제조하는데 효과적인 방법임을 입증하였다. The microstructural change of the <TEX>$Sm_{0.5}Sr_{0.5}CoO_3$</TEX> (SSC) electrode for a cathode material of solid oxdie fuel cells (SOFCs) deposited by the electrostatic spray deposition (ESD) technique was characterized. Samarium chloride hexahydrate <TEX>$(SmCl_3{\cdot}6H_2O)$</TEX>, strontium chloride hexahydrate <TEX>$(SrCl_2{\cdot}gH_2O)$</TEX>, cobalt nitrate hexahydrate <TEX>$(Co(No_3)_2{\cdot}6H_2O)$</TEX> as starting materials and methyl alcohol as solvent were used to make precursor solution. The suitable porous SSC films for a cathode of SOFCs were deposited on Si substrate and it is observed that the microstructure was strongly dependent on processing parameters such as deposition time, substrate temperature, and applied voltage. Scanning Electron Microscope (SEM) and X-ray Diffractometer (XRD) measurement were used to investigate the microstructure and crystallinity of the SSC films. The ESD technique is shown to be an efficient method in which the SOFCs' cathode film can be fabricated with the desired phases and microstructure.

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