Abstract
본 논문에서는 박막코팅기술의 공정은 고경도 박막과 질화층의 접합력을 높이기 위하여 적용하였다. 이 박막코팅기술은 프레스 금형에 사용되는 경도와 인성을 얻을 수 있는 복합 박막을 형성했다. 이러한 박막 코팅 생산 기술은 물리증착방법을 이용하여 진공 챔버의 진공도를 증가하고, 건파워의 투사율을 향상시켰다. 티타늄합금 타겟은 각종 정밀가공 부품에 복합박막코팅기술 개발을 통하여 성능과 표면재질을 개선하였다. In this paper, The process of thin-film coating technology was applied to improve adhesion of the hardness thin film and nitride layer. This thin-film coating technology have formed composite thin-film to gain hardness and toughness used in press mold. The thin-film coating manufacturing technology increased vacuum present in the vacuum chamber and improved the throw ratio of the gun power using physical vapor deposition coating technology. Ti alloys target improved performance and surface material through the development of a composite film coating technology for various precision machining parts.
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