Bu çalışmada, sol-jel spin kaplama yöntemi kullanılarak mikroskop cam altlıklar üzerine TiO2, TiO2/CoPc ve CoPc filmleri hazırlanmış ve CoPc katkı konsantrasyonunun filmlerin optik ve yapısal özellikleri üzerine etkisi araştırılmıştır. İnce filmlerin optik geçirgenliğini ölçmek için 300-1100 nm dalgaboyu aralığında bir spektrofotometre kullanılmıştır. Uv-Vis çalışmaları, B ve Q bandı absorpsiyon bölgelerine karşılık gelen aralıklarda artan CoPc konsantrasyonu ile filmlerin geçirgenliğinin azaldığını göstermiştir. İnce filmlerin yüzey morfolojisini karakterize etmek için taramalı elektron mikroskobu (SEM) kullanılmış ve homojen olarak kaplandıkları görülmüştür. Tavlanmış filmlerin XRD ölçümlerinde, TiO2 filmlerde anataz-brookit karışık faz görülürken TiO2/CoPc filmlerin anataz olduğu tespit edilmiştir. Filmlerin dislokasyon yoğunluğu, kristal boyutu gibi önemli parametreleri hesaplanmıştır.