Dielectric constant (K), loss (tan δ) — and hence conductivity σ — of LiF single crystals which are subjected to a combination of treatments like quenching, high ac field treatment and later X-ray irradiation, are studied in the frequency region 102 to 107 Hz and in the temperature range 30 to 350 °C. These treatments are found to increase the room temperature K and tan δ-values appreciably particularly in the low-frequency region. These increases seem to be connected with space charge polarisation due to significant increase in the concentration of charged lattice defects (like vacancies) in the samples. Temperature variation of K and tan δ at different frequencies for these samples seem to support this conclusion. The activation energy value for conduction in the intrinsic region (300 to 350 °C), calculated from log σ versus 1/T is 0.98 eV for as-cleaved LiF; this value is found to decrease in the variously treated LiF samples. The results of the present work indicate that LiF samples which are quenched, ac field treated, and later X-ray irradiated, contain the largest concentration of lattice defects. An attempt is made to understand the results. Dielektrizitätskonstante (K), Verlustfaktor (tan δ) — und damit die Leitfähigkeit δ — von LiF-Einkristallen werden nach einer Kombination von Behandlungen, wie Abschrecken, Belastung mit hohem Wechselfeld und nachfolgender Röntgenbestrahlung, im Frequenzbereich von 102 bis 107 Hz und Temperaturbereich von 30 bis 350 °C untersucht. Es wird gefunden, daß diese Behandlungen die Werte von K und tan δ bei Zimmertemperatur beträchtlich erhöhen, insbesondere im Bereich niedriger Frequenzen. Diese Zunahme scheint mit einer Raumladungspolarisation infolge einer beträchtlichen Zunahme der Konzentration geladener Gitterdefekte (ähnlich Leerstellen) in der Probe verknüpft zu sein. Die Temperaturvariation von K und tan δ bei vereschiedenen Frequenzen scheint diesen Schluß für diese Proben zu bestätigen. Die Aktivierungsenergie für die Leitfähigkeit im Intrinsicbereich (300 bis 350 °C) der aus dem Verlauf log σ über 1/T berechnet wird beträgt 0,98 eV für frischgespaltenes LiF; es wird gefunden, daß dieser Wert in den unterschiedlich behandelten LiF-Proben abnimmt. Die Ergebnisse der Untersuchung zeigen, daß LiF-Proben, die abgeschreckt werden, einem Wechselfeld ausgesetzt und nachfolgend röntgenbestrahlt werden, die höchste Konzentration von Gitterdefekten aufweisen. Es wird versucht, die Ergebnisse zu verstehen.