Parameters of the machining tool and quality of quartz glass elements

Abstract

Рассматриваются методы обработки стекла, в том числе кварцевого. Исследования направлены на улучшение качества поверхности при физическом и химическом методах воздействия на изделие, обеспечение высокой точности обработки и качества поверхности без микротрещин и царапин. Обработка применялась к телам вращения. В качестве полирующего инструмента применялись полиуретаны с твердыми включениями. Исследованы параметры твердых включений и оценено их влияние на качество получаемой поверхности. Жесткость станка, оснастки значительно превышала жесткость обрабатываемой детали и полирующего инструмента, подпружиненного в осевом направлении.Получены результаты исследования для операций шлифования, полирования и травления образцов кварцевого стекла с разными режимами обработки. Проведена оценка влияния этих процессов на значение параметра шероховатости поверхности кварцевого стекла. Установлено, что существует ряд факторов, влияющих на качество поверхности стекла при обработке: геометрия и шероховатость поверхности перед обработкой; качество инструмента для полирования, механизм процесса травления; время и режимы при полировании, а также влияние полирующей суспензии. При обработке происходит изменение параметра шероховатости, зависящее от формирования макрогеометрии обрабатываемой поверхности в процессе полирования и травления; как следствие, происходит разделение на условные границы зон обработки. Формирование макрогеометрии обусловлено схемой полирования, размерами и геометрией инструмента, а также точностью юстировки станка. Наглядно представлены результаты исследования, проанализированы полученные данные экспериментов по полированию и травлению, сделаны выводы по данной работе.