Abstract
マイクロ振動子を用いた情報・センシング機器の高速化, 高感度化を目的に, 2本の微小はりにおける, 減衰と振動連成を解析した.はりを球の集合で置き換え, 単一球の周囲流を重ね合わせてはりの空気抵抗を求め, はり寸法が等しい場合の振幅比, 構造減衰を考慮した振幅比, 1本のはりの減衰比を簡便に求める式を導出した.また実験により理論の妥当性を示した.主な結論を以下に示す(1) 導出した理論式によれば, 1本のはりの減衰比は, はりが小さいほど大きく, これは前報の実験値 (シリコンはり) とよく一致する.(2) 導出した理論式によれば, 2本のはりにおける振動連成ははり寸法, はり間隔, 内部摩擦が小さいほど大きく, これは拡大実験による結果とよく一致する.(3) 以上の成果を実際の振動子の設計に適用できるように, シリコンおよびパーマロイはりの振動連成抑圧条件を簡便に求める図を作成した.
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Schedule a callMore From: Journal of the Japan Society for Precision Engineering
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