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水平一体型の大電流イオンプレーティング装置中の活性化ノズル使用によるTiN膜質の変化
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https://doi.org/10.3131/jvsj.40.280
Journal: SHINKU | Publication Date: Jan 1, 1997 |
License type: free |
水平一体型の大電流イオンプレーティング装置中の活性化ノズル使用によるTiN膜質の変化
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