Abstract
Modification of a Germanium Surface Exposed to Radiation of a Nanosecond Ultraviolet Laser
Highlights
Dislocations were detected by ablation
dislocations that come to the crystal surface
their overlap led to an alternating picture of trihedral pyramids
Summary
Выявление дислокаций происходило путем абляции в результате воздействия лазерного излучения. После появления достаточно мощных лазеров были проведены многочисленные эксперименты по исследованию результатов воздействия лазерного излучения на германий, кремний и другие полупроводниковые кристаллы [16—23]. Пластины из монокристаллического германия n-типа проводимости с кристаллографической ориентацией погружали в раствор кислоты HF с концентрацией 48 % и травили в течение 10 и 60 мин при освещении лучом непрерывного аргон-ионного лазера с длиной волны 514,5 нм при плотности мощности лазерного излучения 4,4 кВт/ см[2] (облучение лазером заметно ускоряло процесс травления). На образцах германия впервые было обнаружено образование поверхностных периодических структур в результате воздействия мощного импульсного лазерного излучения [26, 27]. Ниже рассмотрены результаты исследования морфологических особенностей поверхности монокристаллического германия после воздействия интенсивного импульсного УФ-лазерного излучения
Sign-in/Register to view highlights & summary Sign-in/Register to access full text options 
Free) 
Talk to us
Join us for a 30 min session where you can share your feedback and ask us any queries you have
Schedule a call
