Abstract

硅薄膜合金化可调控硅基薄膜的光学带隙、折射率等特性, 是提高硅基薄膜太阳电池性能的重要途径之一. 硅氧合金薄膜是由富硅相和非晶富氧相组成的双相体系, 具有高电导、宽带隙、低折射率等特性, 可用于硅基薄膜太阳电池的吸收层及辅助层, 提高太阳电池的性能, 是近期硅基合金薄膜的研究热点. 本文将概述硅氧合金薄膜的微观结构、光电特性, 及其在硅基薄膜电池窗口层、吸收层、中间反射层、背反射层等的应用.

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