MEMS 열전소자를 이용한 교류실효전압 측정표준

Abstract

본 논문은 국가측정표준에서 중요한 기여를 하고 있는 MEMS 열전소자에 대해 기술하였다. 교류실효전압은 MEMS 기술로 제작된 PMJCT와 기준 직류전압을 이용하여 정확하게 측정할 수 있으며 이 때문에 MEMS기술로 제작된 PMJTC는 교류실효전압과 직류전압을 연결하는 AC-DC 전달표준으로 사용된다. PMJTC는 교직차로 정의되는 고유 오차를 가지고 있으며 이는 기준 PMJCT와 비교측정을 통해 교정한다. 현재 우리나라는 PMJTC를 이용하여 10 Hz - 1MHz 주파수 대역에서 2 mVSUBrms/SUB 부터 1000 VSUBrms/SUB에 이르는 AC-DC 전달표준을 구현하고 있다.