Abstract
In this work, an Atomic Force Microscope in the so−called Piezoresponse mode and Kelvin mode is used to image the grains, ferroelectric domains and surface potential in lithium niobate thin films. A RF magnetron sputter system was used to deposit LiNbO3 thin films on (100)−oriented Si substrates with SiO2 layer. Using the electric field from a biased conducting AFM tip, we show that possible to form and subsequently to visualize ferroelectric state. Also, we report surface charge retention on ferroelectric thin films by Kelvin probe microscope in comparison with the piezoresponse signal.
Highlights
Тонкие ориентированные поликристаллические пленки ниобата лития (LiNbO3) представляют большой интерес для различных электро− и акустооптических приложений [1,2,3]
SrBi2Nb2O9 thin films grown by pulsed laser deposition on epitaxial Pt electrodes using atomic force microscope
Книга представляет большой интерес для научных и инженернотехнических работников, производителей наукоемкой продукции и специалистов, занятых в областях разработки новых материалов и высоких технологий, а также для руководителей организаций и предприятий, заинтересованных в целевой подготовке высококвалифицированных специалистов
Summary
Методом атомно−силовой микроскопии в режиме силовой микроскопии пьезоотклика и Кельвин−моде построены картины распределения индуцированного состояния и поверхностного потенциала в тонких пленках ниобата лития, полученных осаждением на оксидированную подложку Si (100) методом высокочастотного магнетронного распыления. Тонкие ориентированные поликристаллические пленки ниобата лития (LiNbO3) представляют большой интерес для различных электро− и акустооптических приложений [1,2,3]. По− видимому, получение высококачественных (ориентированных и обладающих малыми оптическими потерями) тонких пленок LiNbO3 на кремнии, так как пластины кремния представляют собой жесткую и плоскую основу, идеальную для производства методами литографии разного рода приборов, использующих электрооптические свойства ниобата лития. Для определения сегнетоэлектрических свойств тонких пленок широко применяют метод силовой микроскопии пьезоотклика, который позволяет выявить направление поляризации и локальное распределение доменов [4]. В работах [5, 6] показано, что этот метод может быть использован для получения результатов о характере поляризации в пленках LiNbO3 на проводящей подложке, тогда как на диэлектрических и содержащих толстый слой SiO2 подложках кремния данный метод неприменим. Ниже представлены результаты исследований методами сканирующей зондовой микроскопии, которые являются продолжением работы [7] о сегнетоэлектрической активности состаренных тонких пленок LiNbO3, полученных ВЧ магнетронным распылением на окисленную подложку кремния
Sign-in/Register to view highlights & summary Talk to us
Join us for a 30 min session where you can share your feedback and ask us any queries you have
Schedule a callMore From: Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering
Disclaimer: All third-party content on this website/platform is and will remain the property of their respective owners and is provided on "as is" basis without any warranties, express or implied. Use of third-party content does not indicate any affiliation, sponsorship with or endorsement by them. Any references to third-party content is to identify the corresponding services and shall be considered fair use under The CopyrightLaw.
