Improved QS-MMI' 1.31/1.55μm 파장분리기의 최적화 설계 및 제작

Abstract

다중모드간섭 기반의 <TEX>$1.31/1.55{\mu}m$</TEX> 파장분리기의 크기 및 성능개선을 위해 'Improved Quasi-State' 불완전 단일상 개념을 설계에 도입하였다. 코어와 클래딩의 굴절률 차이가 작은 경우의 모드간 위상오차를 역이용 하도록 설계하여 'Quasi-State'의 출력 파워와 소멸비를 월등히 개선하였다. 다중모드간섭기의 폭이 <TEX>$14.4{\mu}m$</TEX>, 입력도파로의 수평 이동이 <TEX>$5.3{\mu}m$</TEX>가 되도록 설계한 구조를 유효굴절률법과 MPA를 사용하여 분석한 결과 최대 소멸비는 양 파장대역 모두 -25dB 이하로 나타났다. 설계된 파장분리기는 일반적인 다중 모드간섭기의 길이의 1/5정도에 불과한 <TEX>$2620{\mu}m$</TEX>의 간섭길이를 가진다. 소프트 리소그래피 공정을 통해 설계된 파장분리기를 제작하였으며, <TEX>$1.31{\mu}m$</TEX>와 <TEX>$1.5{\mu}m$</TEX>의 성공적인 파장분리를 확인하였다. We designed and fabricated a compact multi-mode interference (MMI) wavelength demultiplexer using the concept of 'Improved Quasi-State' modes. The output power and extinction ratio were improved by utilizing modal phase error which is specially occurred in low-index contrast. For a designed demultiplexer, the mode propagation analysis with effective index approximation shows significant improvement of extinction ratio to -25 dB for both <TEX>$1.31{\mu}m\;and\;1.51{\mu}m$</TEX> wavelength region and the split-length was reduced about 1/5 of other MMI devices. The fabricated device shows successful characteristics for both 1.31 and <TEX>$1.55{\mu}m$</TEX> wavelengths. These results demonstrate the potential of low-index materials system and the embossing process for photonic integrated circuits.