Abstract
å ææå稳å®ç³»ç»åºäºå¯¹å æä½ç½®åè§åº¦çæ§å¶ï¼è½å¤å®ç°å¯¹å ææåçé«ç²¾åº¦ä¸»å¨æ§å¶ï¼å¨å¾®çº³å å»åè¶ å辨æåçé¢åä¸åæ¥çéè¦çä½ç¨ã为äºå®ç°å æçé¿æ¶é´æå稳å®ï¼æåºä¸ç§å离å¼è°æ§çå°ååå ææå稳å®ç³»ç»ï¼æ¶é¤äºä¼ ç»æ¹æ¡ä¸ååå°éæ ¡æ£å¸¦æ¥çè¦å误差ï¼å¤§å¹ 度æåäºå ææå精度çæ§å¶æ§è½ã对æ¯æµè¯ç»æ表æï¼åºäºè¯¥æ¹æ³çå ææå稳å®ç³»ç»å¯¹å æä½ç½®ç稳å®ç²¾åº¦ï¼RMSå¼ï¼å¯è¾¾0.3 μmï¼è§åº¦ç¨³å®ç²¾åº¦ï¼RMSå¼ï¼è¾¾å°1 μradï¼æ½å ä¸å®å¹ 度ç主å¨æ°å¨åçæµè¯ç»æ表æï¼è¯¥ç³»ç»å¨è¾å¤§çå æºæå¨ä¸ä»è½ä¿æåä¸é级ç稳å®ç²¾åº¦ãç¸æ¯äºåæ ·æµè¯æ¡ä»¶ä¸ç两ç§åä¸åå ææå稳å®ç³»ç»ï¼å ¶ä½ç½®æå¨ä¸è§åº¦æå¨æ§è½å¯æé«50%以ä¸ã
Talk to us
Join us for a 30 min session where you can share your feedback and ask us any queries you have