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Abstract
Filmes finos de óxido de índio e estanho (ITO) foram depositados em um substrato monocristalino de KBr (h00) usando a técnica de spray ultrassônico a uma temperatura de 300 °C. Além disso, o filme de ITO foi submetido a um recozimento a 700 °C por 1 hora. A análise de difração de raios X indica que os filmes são policristalinos, com orientação preferencial dos grãos ao longo do plano (400), e sua cristalinidade melhora devido à alta temperatura de recozimento. A espectroscopia Raman revela a presença de vibrações de alongamento In–O–In nos filmes recozidos a 700 °C. A análise da morfologia da superfície mostra que os filmes recozidos consistem em aglomerados com tamanhos variando de 300 a 350 nm, enquanto o filme depositado apresenta uma camada densa de ITO com tamanhos de grãos menores que 80 nm. A análise UV-vis confirmou uma transmitância média de aproximadamente 65% na região visível, com a largura de banda óptica variando entre 3,91 e 4,10 eV. Os filmes recozidos a 700 °C exibiram baixa resistividade (0,31 × 10⁻³ Ω cm).
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