Abstract
當前水平磁記錄發展已達上限，若要繼續提升記錄密度，必須朝向垂直磁記錄發展，目前製作垂直記錄媒體面臨的困難有:易磁化方向不易在垂直膜面方向、序化溫度過高、矯頑磁力過高等問題，近幾年來前兩項問題已逐漸被克服，但是矯頑磁力過高的問題仍有待解決，因此本實驗藉由改變製程方法來改善上述所說的問題。 本文研究在於利用交換彈力系統的概念，將軟磁層Fe濺鍍在硬磁層FePt(001)薄膜之上，藉由改變濺鍍Fe之溫度、瓦數、厚度，以期許可降低Cr/Pt/FePt/Fe之Hc，進而改善磁頭寫錄的問題。我們並發現濺鍍Fe之溫度與瓦數，並不會對結構或是磁性質有顯著的影響，Fe厚度的改變雖然也不會改變結構，但是對Cr/Pt/FePt/Fe磁性質卻有明顯的變化，當Fe厚度薄時(3、5 nm)，在Fe和FePt界面僅有弱的交換耦合力產生，Fe厚度是10 nm時，此時交換耦合力為最強，厚度再增加到15、20 nm時，Hc反而略為上升，同樣的我們量測DCD曲線，也證實了Fe厚度10 nm的確有交換耦合力存在。Cr/Pt/FePt三層結構的垂直方向Hc為2565 Oe，出現最強交換耦合力時，Hc可下降至1312 Oe，這說明了當交換耦合力發生之時Hc可有效降低達50%，這將大幅解決垂直記錄媒體在寫錄時，磁矩不易翻轉的問題。
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