Abstract
The process of repolarization of a LiTaO3 crystal by e−beam lithography was studied. The process of fabrication of ferroelectric domains with domain width of 1 μm was demonstrated. It was shown that in the 127° Y ¢-cut of a ferroelectric LiTaO3 crystal the ferroelectric domains is formed at the angle of 37° the crystal surface and growth along polar axis Z from negative surface to positive surface Z .
Highlights
Результаты и их обсуждениеНа рис. 1 схематично представлен процесс электронно−лучевой переполяризации 127° Y′−среза кристалла LiTaO3
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, *ОАО «Фомос–Материалс»
Fabrication of periodic domain grating in LiNbO3 by electron beam writing for application of nonlinear optical processes / H
Summary
На рис. 1 схематично представлен процесс электронно−лучевой переполяризации 127° Y′−среза кристалла LiTaO3. 1 схематично представлен процесс электронно−лучевой переполяризации 127° Y′−среза кристалла LiTaO3. Для исследований использовали образцы толщиной 300 мкм. Шероховатость поверхности образцов не превышала 0,8 нм. В 127° Y′−срезе кристалла LiTaO3 полярная ось Z составляет 37° с поверхностью подложки. Процесс электронно− лучевой переполяризации осуществляется на −Z′ поверхности подложки.
Sign-in/Register to view highlights & summary Sign-in/Register to access full text options 
Free) 
Talk to us
Join us for a 30 min session where you can share your feedback and ask us any queries you have
Schedule a call
