Abstract
Bu calismada, Al/TiO2/p-Si/Al heteroeklemi uretildi ve bazi elektrik ve dielektrik karakteristikleri arastirildi. TiO2 arayuzey katmaninin sentezlenmesi icin yuzey duzgunlugu ve kararliligi gibi sahip oldugu bazi avantajlardan dolayi atomik katman kaplama teknigi kullanildi. Elektriksel ve dielektrik karakteristiklerinin belirlenmesi icin, oda sicakliginda, -1 ile +1 V beslem voltaji ve 10 kHz-1MHz frekans degerleri araliklarinda empedans spektroskopisi olcumleri yapilmistir. Elektriksel parametreler olarak arayuzey halleri dagilimi ve seri direnc degerleri belirlenmistir. Bunlara ek olarak, dielektrik kaybi ve katsayisi, elektriksel modulun gercek ve imajiner kismi ve AC elektrik iletkenligi gibi dielektrik parametrelerin frekansa ve voltaja guclu bir sekilde bagli oldugu bulunmustur. Elektrik ve dilelektrik karakteristikler uretilen aygitin arayuzey halleri ve polarizasyon degerlerinin dusuk frekanslarda AC sinyalini takip edebildigini gostermektedir.
Sign-in/Register to access full text options 
Talk to us
Join us for a 30 min session where you can share your feedback and ask us any queries you have
Schedule a call
