Abstract

A practical application is presented of the dark mode spectroscopy in order to determine directly the thickness and the refractive index of two unknown films grown on a known substrate which form a composite waveguide. All parameters are determined simultaneously by the least squares processing of the data obtained using the dark mode spectroscopy. Separate measurements of lower layers at 0.6328 μm and simultaneous measurements at 0.6328 and 1.1523 μm are discussed especially from physical and data processing aspects. Fine praktische Anwendung der Dunkelmodenspektroskopie wird angegeben, um direkt die Dicke und den Brechungsindex von zwei unbekannten Schichten auf einem bekannten Substrat. die einen zusammengesetzten Welienleiter bilden, zu bestimmen. Alle Parameter werden gieichzeitig durch Ausgleichsrechnung der erhaltenen Werte aus der Dunkelmodenspektroskopie bestimmt. Getrennte Messungen niedrigerer Schichten bei 0,6328 μm und gleichzeitige Messungen bei 0,6328 und 1,1523 μm werden insbesondere unter physikalischen Aspekten und im Hinblick auf Datenverarbeitungdiskutiert.

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