ChemInform Abstract: THE KINETICS OF SILICON DEPOSITION ON SILICON BY PYROLYSIS OF SILANE, A MASS SPECTROMETRIC INVESTIGATION BY MOLECULAR BEAM SAMPLING

Abstract

AbstractDie Kinetik der Silanpyrolyse an einer (111)‐Si‐Fläche verläuft über den Mechanismus A, wobei sowohl die Menge des adsorbierten Silans als auch die Zersetzungsgeschwindigkeit linear vom Silandruck abhängen.