Analisis Pola dan Ukuran Bulir Spekel menggunakan LSI (Laser Speckle Imaging) pada Lapisan Tipis TiO2

Abstract

Metoda LSI telah menghasilkan citra pola spekel sampel lapisan tipis TiO2. Analisis pola spekel dan ukuran bulir spekel program pencitraan autokorelasi Matlab 7 digunakan untuk melihat perubahan yang terjadi pada sampel lapisan tipis TiO2 akibat pengaruh variasi suhu pemanasan (100, 150 dan 200C). Ukuran bulir spekel lapisan tipis TiO2 semakin meningkat akibat kenaikan suhu pemanasan pada jumlah pelapisan yang sama. Hasil olah pola spekel memperlihatkan ukuran bulir spekel terkecil yang dapat hitung adalah 45 μm dan bulir lapisan tipis TiO2 tersebar semakin merata akibat penambahan suhu pemanasan.