에탄올의 농도를 검출하기 위한 미세유체 메타물질 흡수체

Abstract

본 논문에서는 메타물질 흡수체를 사용한 새로운 에탄올 농도 검출 센서를 제안한다. 메타물질 흡수체는 분할고리십 자공진기(SRCR: Split Ring Cross Resonator) 구조와 미세유체 채널로 구성되어 있다. SRCR 구조는 capacitive 간극 부근의 실효 유전율에 민감하게 반응하는 LC 공진을 발생시킨다. 미세유체 채널은 마이크로 리터 단위의 극미량 액체를 사용하여 유전체 기판의 실효 유전율을 변화시킬 수 있다. 본 연구에서 제안한 미세유체 메타물질 흡수체는 미세유체 채널에 주입된 에탄올의 농도에 따른 전기적 특성을 감지하여 그 농도를 검출할 수 있다. 제안된 흡수체는 도파관 측정법을 사용하여 측정하였고, 미세유체 채널에 각기 다른 농도의 에탄올이 흐를 때 공진 주파수가 이동하는 것을 확인하였다. 또한, 시뮬레이션과 측정 결과 사이에 높은 일치율을 보인다. In this paper, we proposed a novel ethanol concentration sensor using microfluidic metamaterial absorber. The metamaterial absorber comprises a split-ring-cross resonator(SRCR) and a microfluidic channel. The SRCR can generate LC resonance that is very sensitive to changes in the effective dielectric constant around the capacitive gap. In addition, microfluidic channels can change the effective dielectric constant of the dielectric substrate by using an infinitesimal quantity of a liquid on the order of microliters. The proposed absorber can detect the electrical properties of different concentration of ethanol. The performance of the proposed absorber is demonstrated using the absorption measurements of a fabricated prototype sample with waveguides. In addition, the simulated results and measurement results show good agreement.