레이저 빔의 파면 측정을 통한 비축 포물 거울의 성능 평가 및 정렬 오차 민감도에 관한 연구

Abstract

본 논문에서는 비축 포물 거울을 통과한 레이저 빔의 파면을 측정하는 방식으로 국내 및 국외에서 제작된 비축 포물 거울을 평가하였으며, 이로부터 비축 포물 거울의 집속 성능 및 정렬 민감도를 측정하였다. 국외에서 제작된 비축 포물 거울은 직경 약 34 mm의 레이저 빔에 대해 고차 파면 수차(higher-order aberration)의 rms 값이 <TEX>$0.03{\mu}m$</TEX> 정도로 작아 광학적으로 좋은 품질을 갖는 것으로 판명되었다. 국내에서 제작된 비축 포물 거울은 같은 34 mm의 레이저 빔에 대해 고차 파면 수차의 rms 값이 <TEX>$2.01{\mu}m$</TEX>나 관측되어 아직 개선이 필요한 것으로 보인다. 또한, 비축 포물 거울의 회전 정렬 오차에 대한 비점수차(astigmatism)의 민감도를 측정한 결과 회전 정렬 오차에 대한 비점수차의 민감도는 <TEX>$0.371{\mu}m/mrad$</TEX>인 것으로 관측되었다. 이는 광선 추적 소프트웨어를 사용하여 계산한 값과 거의 같은 양으로 이러한 비점수차의 정렬 민감도 측정은 비축 포물 거울을 정렬하는데 도움을 줄 것으로 생각된다. Wavefront aberrations of a laser beam that was reflected from an off-axis parabolic (OAP) mirror were measured to evaluate the optical performance of the OAP mirror. For a diamond turned OAP mirror, the root-mean-square (rms) value of higher-order aberrations was only <TEX>$0.03{\mu}m$</TEX> for the laser beam size of about 34 mm. The other OAP mirror which was polished at a domestic company had the rms value of higher-order aberrations of <TEX>$2.07{\mu}m$</TEX> for the same beam size. Although the diamond turned OAP mirror was well fabricated to have a small amount of aberrations, the aberrations were induced by the misalignment of the OAP mirror. Especially, 0 degree astigmatism increased with the sensitivity of <TEX>$0.372{\mu}m/mrad$</TEX> when the OAP mirror was tilted in the tangential plane, which agreed well with the calculated results using a commercial ray tracing software.