Abstract
تم استخدام طريقة الحفر الضوئي الكهروكيميائي (PECE) لإنشاء عينات pSi على رقائق السيليكون من النوع (Si) n. بأستخدام وقت الحفر (12 و 22 دقيقة) في التجربة مع الحفاظ على المعلمات الأخرى (10 مللي أمبير / سم2 كثافة التيار وحمض HF بتركيز 75٪). تمت دراسة تغير السعة والمقاومة مع زيادة درجة الحرارة وانخفاضها للعينات المحضرة عند ترددات 10 و 20 كيلو هرتز. ، تم التحقق من صحة عرض المسام والعمق والمسامية باستخدام الفحص المجهري الإلكتروني (SEM). تم تأكيد تكوين السيليكون المسامي من خلال أنماط حيود الأشعة السينية (XRD) ، وأنخفض حجم البلورة ، وكشفت أطياف التلألؤ الضوئي (PL) أن قمم الانبعاث تركزت عند q2 من 28.5619 ° و 28.7644 ° لوقت حفر 12 و 22 دقيقة على التوالي. تظهر دراسة السعة والمقاومة أثناء زيادة درجة الحرارة وانخفاضها لكلتا أوقات الحكة بوضوح أن pSi المحضر كمستشعر حراري يعمل بشكل أفضل وبانتقائية أكثر لمدة 20 دقيقة من وقت الحفر.
Sign-in/Register to access full text options 
Talk to us
Join us for a 30 min session where you can share your feedback and ask us any queries you have
Schedule a callDisclaimer: All third-party content on this website/platform is and will remain the property of their respective owners and is provided on "as is" basis without any warranties, express or implied. Use of third-party content does not indicate any affiliation, sponsorship with or endorsement by them. Any references to third-party content is to identify the corresponding services and shall be considered fair use under The CopyrightLaw.
