Abstract
С применением экспериментальных методов анализа исследованы морфология, элементный состав и химическое состояние элементов покрытий на основе нитрида титана, формируемых методом конденсации с ионной бомбардировкой. Установлено, что покрытия с различным временем формирования обладают достаточно близким химическим составом и содержат нитрид (TiN), оксинитрид (TiNxO1-x), оксид (TiOx), карбид титана (TiC). Однако с увеличением времени формирования в покрытиях наблюдается повышение доли углерода, входящего в состав карбида титана. На основе анализа состава покрытий, полученных при различной длительности формирования, а также данных об изменении состава покрытий по глубине предложена возможная динамика внедрения и диффузии примесей (углерода и кислорода) в процессе формирования покрытий.
 
 Авторы выражают благодарность Ивлеву К. Е. за проведение исследования образцов методом SEM, а также руководству ОмЦКП СО РАН за предоставление оборудования для исследования образцов методами SEM и EDX.
 Работа выполнена при финансовой поддержке Минобрнауки РФ в рамках государственного задания, проект № 11.11760.2018/11.12.
Highlights
Scanning electron microscopy (SEM), energy dispersive X-ray spectroscopy (EDX) and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) were used to analyse the structure and composition of the coatings produced at different formation times
It was determined that coatings formed at different times still have a sufficiently close chemical composition and contain titanium nitride (TiN), titanium oxynitride (TiNxO1–x), titanium oxide (TiOx) and titanium carbide (TiC)
The paper demonstrates that the increase in the formation time of coatings leads to a decrease in the proportion of carbon in the amorphous state and an increase in the fraction of carbon which is a part of titanium carbides
Summary
С применением экспериментальных методов анализа исследованы морфология, элементный состав и химическое состояние элементов покрытий на основе нитрида титана, формируемых методом конденсации с ионной бомбардировкой. На основе анализа состава покрытий, полученных при различной длительности формирования, а также данных об изменении состава покрытий по глубине предложена возможная динамика внедрения и диффузии примесей (углерода и кислорода) в процессе формирования покрытий. Традиционно для формирования покрытий из нитрида титана применяют магнетронное распыление и метод конденсации с ионной бомбардировкой (КИБ) [4, 5]. АНАЛИЗ МОРФОЛОГИИ И СОСТАВА ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ НИТРИДА ТИТАНА. В настоящей работе для анализа морфологии, структуры и состава покрытий на основе нитрида титана, полученных с использованием метода конденсации с ионной бомбардировкой при варьировании времени нанесения, были использованы методы сканирующей электронной микроскопии (Scanning Electron Microscopy – SEM), энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии (Energy-dispersive X-ray spectroscopy – EDX). Исследование химического состояния элементов было проведено с использованием рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (X-ray photoelectron spectroscopy – XPS)
Sign-in/Register to view highlights & summary Sign-in/Register to access full text options 
Talk to us
Join us for a 30 min session where you can share your feedback and ask us any queries you have
Schedule a call
