차영상을 이용한 실시간 TCP/COF 검사 시스템 개발

Abstract

본 논문에서는 TCP/COF의 불량패턴 검출 알고리즘을 제안하고 실시간 검사 시스템을 구현하였다. TCP/COF는 마이크로미터 단위의 패턴 굵기를 갖는 관계로 검사를 위해서는 작업자가 고성능 현미경을 보며 전수 검사 해야 하는 어려움이 있다. 이에 본 연구에서는 작업자로 하여금 모니터를 보면서 검사시스템이 검출해내는 불량에 대해서 검사할 수 있는 시스템을 제안하였다. 검사 알고리즘은 기준 영상과 검사 영상간의 패턴 비교 방법에 의해 수행된다. TCP/COF의 특성에 맞는 고성능 카메라 및 조명시스템을 구현하기 위하여 카메라의 종류와 조명의 형태 및 광원에 따른 다양한 실험을 수행하였다. 실험결과 구현된 검사 시스템은 TCP/COF 필름의 불량 위치를 작업자에게 정확하게 알려줌을 확인할 수 있었다. In this paper, we proposed a faulty pattern detection algorithm of TCP(Tape Carrier Package)/COF(Chip On Film), and implemented a real-time system for inspecting TCP/COF. Since TCP/COF has very high resolution having several micro meters, the human operator should visually inspect all the parts through microscope. In this work, we implement an inspection system to detect the faulty pattern, so the operator can visually inspect only the designated parts by the inspection system through the monitor. The proposed defects detection algorithm for TCP/COF packages is implemented by the pattern matching method based on subtracting the reference image from test image. To evaluate performance of the proposal system. we made various experiments according to type of CCD camera and light source as well as illumination projection method. From experimental results, it is confirmed that the proposed system makes it possible to detect effectively the defective TCP/COF film.