드레이퍼 방식 연마기에서의 툴 영향 함수 기법

Abstract

본 논문에서는 툴 영향 함수(Tool Influence Function)를 이용한 피치(pitch)툴의 정량적 물질 제거 제어 기법에 대하여 기술하였다. 피치 툴은 뛰어난 표면 거칠기를 생성시키는 반면 툴의 물질 변형이 상대적으로 크고 물질제거가 어렵기 때문에 일반적으로 숙련된 가공 기술자에 의한 정성적 연마 기법으로 간주되었다. 하지만 이러한 피치 툴을 이용한 수치모사 및 실험을 수행한 결과, 정량적 피치 툴 연마 기법이 가능하다는 것을 알 수 있었다. 실험과 수치모사에 의한 물질 제거 형상은 약 79%의 정확도로 일치하였다. 또한 직경 280 mm의 평면가공에 대한 수치모사 단계에서 5번의 모의 가공 후 p-v(peak to valley) <TEX>$1{\mu}m$</TEX>의 최초 형상오차를 168 nm까지 낮추는 결과를 얻을 수 있었다. The pitch tool provides superior surface roughness compared to other types of polishing tool. However, because of difficulty in handling the pitch tool, pitch tool polishing has rarely been analysed, which led many craftsman to eliminate the pitch tool from their experiences. We found that it was possible to use a pitch tool in the well-determined material removal after the completion of computer simulation and experiment. We could simulate the TIF of the pitch tool with 79% accuracy. Also, after five successive simulations of polishing process on a 280 mm optical flat, the surface p-v error was found to be reduced from <TEX>$1{\mu}m$</TEX> to 168 nm.