일반화 대칭 변환 기반의 웨이퍼 위치 인식

Abstract

본 논문에서는 카메라를 이용한 웨이퍼 위치 인식 알고리즘을 제안한다. 먼저 챔버 외부의 조명 반사와 카메라로 인한 영상의 원근 왜곡을 제거하기 위하여 투영 변환을 적용하여 실제 웨이퍼와 같이 정원의 형태로 복원한다. 다음, 에지 검출 알고리즘을 이용하여 웨이퍼의 외부 경계를 추출한 후, 일반화 대칭 변환을 적용하여 원을 검출함으로서 웨이퍼의 위치를 검사한다. 일반화 대칭 변환은 영상에서 화소쌍들 사이의 대칭값을 거리 가중치 함수, 위상 가중치 함수, 화소들의 기울기 크기와 로그 맵핑이 결합되어 영상에서 관심 영역을 추출한다. 제안하는 방법을 적용하여 웨이퍼가 올바른 위치에 장착되었는가를 검사하여 클리닝 시스템 장비와 웨이퍼의 파손을 미연에 방지한다. This paper proposes the wafer position recognition algorithm using camera. First, for eliminating the image distortions caused by the illumination and the irregular camera position, the wafer image is restored as a circle through projective transformation. Next, we use edge detection algorithm to extract the wafer's edge and then apply Generalized Symmetry Transform(GST) to extract a circle. The GST evaluates symmetry between two points by combining a distance weight function, a phase weight function, and a logarithmic mapping of the points' intensities and detecting interest regions. Trough several experiments, we found out the proposed method is able to prevent the cleaning system and the wafer from damaging.