원격 화학 센서로 활용 가능한 플렉서블 미세유체 메타물질 흡수체

Abstract

본 논문에서는 원격 화학 센서로 활용 가능한 플렉서블 미세유체 메타물질 흡수체를 제안한다. 제안된 흡수체는 잉크젯 프린팅 기법으로 종위 기판 위에 인쇄한 분할고리공진기(SRCR: Split Ring Cross Resonator)와 Polydimethylsiloxane(PDMS) 기판에 레이저 식각된 미세유체 채널로 구성되어 있어 매우 유연한 특징을 보인다. 본 연구에서 제안한 메타물질 흡수체는 미세유체 채널에 주입된 화학물질에 따른 실효 유전율의 변화를 공진주파수의 이동으로 감지할 수 있다. 제안된 흡수체는 시뮬레이션과 측정을 통하여 성능을 검증하였다. 측정 결과, 공기의 경우에는 10.49 GHz에서 흡수가 되었고, 에탄올과 탈이온수의 경우에는 각각 10.04 GHz와 8.9 GHz에서 흡수체로 동작함을 확인할 수 있었다. In this paper, a novel flexible microfluidic metamaterial absorber is proposed for remote chemical sensor applications. The proposed metamaterial absorber consists of a periodic of split-ring-cross resonators(SRCRs) and a microfluidic channel. The SRCR patterns are inkjet-printed using silver nanoparticle inks on paper. The microfluidic channels are laser-etched on polydimethylsiloxane(PDMS) material. The proposed absorber can detect change of the effective permittivity at different liquids. Therefore, the absorber can be used for a remote chemical sensor by detecting change of the resonant frequencies. The performance of the proposed absorber is demonstrated with full-wave simulation and measurement results. The experimental results shows that the resonant frequency is 10.49 GHz at the empty channel. When ethanol and DI-water are injected into the channel, the resonant frequencies are 10.04 GHz and 8.9 GHz, respectively.