Abstract
메모리 반도체 패키지 검사 공정에서 TIS(Tester Interface Software)는 디바이스가 검사 장비에 투입 될 때부터 배출될 때까지 검사 장비가 디바이스 검사를 진행하는데 필요한 모든 소프트웨어 기능을 제공한다. 하지만, 공정에서 사용되는 장비와 장비를 제어하기 위한 컴퓨터 및 운영체제의 종류가 다양하여 동일한 기능을 수행해야 하는 TIS가 테스터 장비마다 독립적으로 개발 및 운영되고 있다. 이는 많은 시간과 비용을 요구할 뿐만 아니라 소프트웨어의 품질에도 많은 영향을 미치고 있으며, 이러한 문제는 추가되는 장비의 종류가 증가할수록 심화될 것이다. 본 논문에서는 이러한 문제를 해결하기 위해 이종 장비와 운영체제에 적용 가능한 CTIS(Cross-platform Tester Interface Software)을 제안한다.
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