Abstract

진공 펌프의 최적설계를 위해 수치해석을 수행하였다. 진공 베인 펌프 설계인자인 베인 각도 변화, 입출구 파이프의 위치와 각도 변화, 베인 개수 변화와 회전속도에 따른 진공도의 영향을 평가하였다. 베인 각도 변화는 동일한 체적의 유지로 최대 진공도 값에 큰 영향을 미치지 않았으나, 토출부의 각도 변화는 유동흐름의 간섭을 줄일 수 있고 이것으로 인한 펌프의 손실을 줄일 수 있다. 회전속도가 증가할수록 질량유량은 증가하였으나 고속 회전속도에서 최대 진공도 값을 나타내지는 않았다. 또한 베인의 개수가 증가할수록 질량유량의 변화폭은 감소하였고, 압력강하는 완화됨을 확인하였다.

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