Abstract
С использованием методов оптической микроскопии в поляризованном свете, модовой спектроскопии, ИК-спектроскопии и рентгеноструктурного анализа подтверждена последовательность фазовых превращений, происходящих при отжиге протонообменных слоев на Z-срезе кристалла ниобата лития: b2-, b1-фазы ® k2-фаза ® k1-фаза ® α-фаза. Установлено, что в процессе отжига в ходе фазовых превращений когерентность слоев, образованных из различных фаз, не нарушается, что обусловлено меньшей величиной деформаций (напряжений) формирующихся протонообменных фаз по сравнению с деформациями (напряжениями) на X-срезе кристалла. 
 Работа выполнена при финансовой поддержке гранта РФФИ (проект № 17-43-590309 р_а).
Highlights
Lithium niobate crystals are widely used in the manufacturing of integrated optical phase and intensity modulators
The production method is based on the formation of optical waveguides in the surface layers of LiNbO3 by means of proton exchange
Subsequent annealing of proton-exchanged structures is usually performed in order to obtain stable and low-loss waveguides
Summary
С использованием методов оптической микроскопии в поляризованном свете, модовой спектроскопии, ИК-спектроскопии и рентгеноструктурного анализа подтверждена последовательность фазовых превращений, происходящих при отжиге протонообменных слоев на Z-срезе кристалла ниобата лития: β2-, β1-фазы → κ2-фаза → κ1-фаза → a-фаза. Большое значение имеет последовательность и кинетика фазовых превращений, происходящих при отжиге ПО-слоев, поскольку отжиг является одной из основных технологических операций при изготовлении стабильных ПО-волноводов с хорошими электрооптическими свойствами и низкими оптическими потерями [1, 4]. В работах [8, 9] с использованием оптической микроскопии, рентгеноструктурного анализа, модовой и ИК-спектроскопии была изучена последовательность и кинетика фазовых превращений при отжиге протонообменных слоев на Х-срезе кристалла ниобата лития. Цель данной работы – изучить процессы, происходящие при отжиге протонообменных слоев на Z-срезе, и сопоставить их со структурно-фазовыми превращениями в протонообменных слоях на Х-срезе кристалла ниобата лития
Talk to us
Join us for a 30 min session where you can share your feedback and ask us any queries you have