Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)

D B Abramenko ,K N Koshelev ,Maxim Spiridonov ,P S Antsiferov ,V V Ivanov ,Dmitrii Andreevich Kim ,Aleksandr Yur’evich Vinokhodov ,Aleksandr Sergeevich Grushin ,A N Ryabtsev ,E P Snegirev ,V M Krivtsun ,R R Gayazov ,L A Dorokhin ,M S Krivokorytov ,Dmitry Astakhov ,O F Yakushev ,Yu V Sidelnikov ,A A Lash ,Ilia Yurievich Vichev ,Il’ya Pavlovich Tsygvintsev ,В В Медведев ,Anna Dmitrievna Solomyannaya ,B V Lakatosh ,P V Krainov ,A A Yakushkin

doi:10.3367/ufnr.2018.06.038447

Abstract

Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)

Full Text