Abstract
ОСОБЕННОСТИ МИКРОСТРУКТУРЫ И СВОЙСТВ ТОНКИХ СФЕРОЛИТОВЫХ ПЛЕНОК ЦТС, СФОРМИРОВАННЫХ ДВУХСТАДИЙНЫМ МЕТОДОМ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО МАГНЕТРОННОГО ОСАЖДЕНИЯ
Full Text
Sign-in/Register to access full text options
Published version (Free)
Talk to us
Join us for a 30 min session where you can share your feedback and ask us any queries you have
Similar Papers
Paper Title
Journal
Date
More From: Physical and Chemical Aspects of the Study of Clusters, Nanostructures and Nanomaterials
Paper Title
Journal
Date