Abstract

ОСОБЕННОСТИ МИКРОСТРУКТУРЫ И СВОЙСТВ ТОНКИХ СФЕРОЛИТОВЫХ ПЛЕНОК ЦТС, СФОРМИРОВАННЫХ ДВУХСТАДИЙНЫМ МЕТОДОМ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО МАГНЕТРОННОГО ОСАЖДЕНИЯ

Full Text
Published version (Free)

Talk to us

Join us for a 30 min session where you can share your feedback and ask us any queries you have

Schedule a call