Модификация структурно-фазового состояния и электрических свойств медьсодержащих фуллеритовых пленок при термическом отжиге в вакууме

Abstract

Методами растровой и атомно-силовой микроскопии, рентгеновской дифракции, рентгеноспектрального микроанализа и дифракции отраженных электронов исследованы изменения структуры, элементного и фазового состава пленок фуллерит–медь с атомной долей металла 0.5, 1, 2 и 4%, осажденных на окисленные монокристаллические подложки кремния и подвергнутых термическому воздействию в вакууме при разных температурах (470, 520, 570 и 620 К). Установлено, что в результате термического отжига при Т = 520 К (t = 1 ч) формируется нанокристаллическая структура со средним размером структурных элементов 33, 42, 50 и 65 нм для пленок фуллерит–медь с атомной долей металла 0.5, 1, 2 и 4% соответственно. Повышение температуры и времени отжига приводит к увеличению размера структурных элементов и образованию новой фазы Cux C60, относящейся к моноклинной пр. гр. P2/m. Методом электросиловой микроскопии и четырехзондовым методом исследованы изменения локальных электрических свойств и удельного электросопротивления медьсодержащих фуллеритовых пленок при отжиге в вакууме.