Abstract
An X-ray inspection is one of the basic methods of non-destructive testing along with optical inspection. Lack of Russian manufacturers in this sector of measuring equipment was a barrier for implementation of the State program «Development of the electronics and radio electronics industry, 2013–2025». High sensitivity X-ray flat panel detector and inspection system concept for non-destructive testing of electronic components were developed. The detector is based on CMOS sensor with pixel pitch 50 um. Key features of the flat panel detector are: limiting spatial resolution 10 LP/mm, reading speed 30 fps, anode voltage range from 20 to 300 kV. Availability of technologies for the production of microfocus sources and flat panel detectors allows creating X-ray inspection system for electronic components for the needs of the microelectronics industry.
Highlights
Рентгеновский контроль является одним из базовых методов неразрушающего контроля электронных узлов наряду с оптической инспекцией
Lack of Russian manufacturers in this sector of measuring equipment was a barrier for implementation of the State program «Development of the electronics and radio electronics industry, 2013–2025»
The detector is based on CMOS sensor with pixel pitch 50 um
Summary
Схема детектора изображена на рис. 1 и включает в себя следующие элементы:. сцинтиллятор; волоконно-оптическую плиту; КМОП-сенсор; считывающую и интерфейсную электронику; подсистему питания. 1 и включает в себя следующие элементы:. Слой сцинтиллятора предназначен для того, чтобы преобразовать рентгеновское излучение в оптическое. Так как в ряде случаев КМОП-сенсоры обладают низкой стойкостью к рентгеновскому излучению, слой сцинтиллятора и сенсор разносят в пространстве с помощью волоконно-оптической плиты. Во избежание потемнения волоконно-оптической плиты при длительном воздействии рентгена используют добавки церия. Сочетание современного КМОП-сенсора с цериевой волоконно-оптической плитой позволяет создать долговечный и высокочувствительный рентгеновский детектор [4]. Наиболее востребованными на международном рынке являются сцинтилляторы на основе йодида цезия (CsI) и оксисульфида гадолиния (GOS). Различия между ними заключаются в структуре материала. Слой CsI структурирован и состоит из иглоподобных кристаллов со средним диаметром порядка
Sign-in/Register to view highlights & summary Sign-in/Register to access full text options 
Talk to us
Join us for a 30 min session where you can share your feedback and ask us any queries you have
Schedule a callDisclaimer: All third-party content on this website/platform is and will remain the property of their respective owners and is provided on "as is" basis without any warranties, express or implied. Use of third-party content does not indicate any affiliation, sponsorship with or endorsement by them. Any references to third-party content is to identify the corresponding services and shall be considered fair use under The CopyrightLaw.
