Abstract
Представлены результаты комплексного исследования влияния химического строения пленок карбонитрида бора на вариабельность их функциональных характеристик. Пленки BCxNy синтезированы на подложках Si(100) из кварцевого стекла методом реактивного магнетронного распыления мишени В4С в атмосфере смеси аргона с азотом. Изучено влияние содержания азота в смеси газов на скорость осаждения, элементный состав, типы химических связей и зависимости оптических (показатель преломления, коэффициент пропускания, ширина запрещенной зоны) и механических (твердость, модуль Юнга, адгезия к подложке) характеристик от параметров осаждения пленок и их химического строения. Особое внимание уделено поверхностным свойствам пленок BCxNy (морфология, шероховатость, краевой угол смачиваемости, свободная энергия поверхности). Впервые проведено исследование стабильности пленок BCxNy при их хранении в атмосфере воздуха. Выполнен сравнительный анализ полученных данных о составе, структурных особенностях и некоторых функциональных свойствах пленок BCxNy с данными из публикаций.
Sign-in/Register to access full text options 
Talk to us
Join us for a 30 min session where you can share your feedback and ask us any queries you have
Schedule a callDisclaimer: All third-party content on this website/platform is and will remain the property of their respective owners and is provided on "as is" basis without any warranties, express or implied. Use of third-party content does not indicate any affiliation, sponsorship with or endorsement by them. Any references to third-party content is to identify the corresponding services and shall be considered fair use under The CopyrightLaw.
